IXY100CA双轴中空运动平台
技术参数
型号
IXY100CA
行程
100mm
精度
1.0μm
重复定位精度(3σ)
0.5μm
运动分辨率 *1
AA: 10nm
DS: 200nm
最大速度 *2
200mm/s
最大加速度 *2
0.5g
水平方向直线度
2μm
垂直方向直线度
2μm
偏航角
15μrad
俯仰角
50μrad
装载质量 *3
10kg
*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率，欢迎垂询。
*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度，欢迎垂询。
*3 欢迎与瑞荧仪器工程师团队交流具体装载质量等参数要求，优化高精密运动平台设计。