MC025可堆叠式运动台
特点
精巧结构的模块化精密运动平台
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良好的兼容性、拓展性
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高刚性,交叉滚柱导轨
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导向精度高,精准定位
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技术参数
型号
MC025
行程
25mm
运动分辨率 *1
50nm
重量
600g
最大加速度 *2
0.5g
最大速度 *2
200mm/s
精度典型值(保证值)
±0.1(±0.25)μm
重复定位精度(3σ)典型值(保证值)
±0.1(±0.2)μm
水平方向直线度典型值(保证值)
±0.1(±0.2)μm
垂直方向直线度典型值(保证值)
±0.15(±0.25)μm
*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率,欢迎垂询。
*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度,欢迎垂询。
*3 欢迎与瑞荧仪器工程师团队交流具体装载质量等参数要求,优化高精密运动平台设计。