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●直线电机驱动,速度1m/s,最大加速度2g●高刚性滚柱导轨,10kg承载●高精度光栅尺反馈,亚微米级分辨率●全封闭防尘设计(无尘拖链)
●直线电机驱动,速度1m/s,最大加速度2g
●高刚性滚柱导轨,10kg承载
●高精度光栅尺反馈,亚微米级分辨率
●全封闭防尘设计(无尘拖链)